Mit Merkmalen von Hochtemperaturwiderstand, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolierung kann Keramik in vielen Arten von Halbleiterproduktionsanlagen mit Zustand hoher Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas über eine lange Zeit arbeiten.

Aus Aluminiumoxid-Pulver mit hohem Purity-Pulver, verarbeitet durch kaltes isostatisches Pressen, Hochtemperatursinter- und Präzisions-Finishing, könnte der keramische End-Effektor die Dimensionstoleranz auf ± 0,001 mm, Oberflächenfinish RA 0,1, Temperaturbeständigkeit 1600 ℃ erreichen.

Der keramische End -Effektor mit Hohlraum kann aufgrund der einzigartigen Keramik -Bindungstechnologie in einer hohen Temperatur von 800 ° C funktionieren.
Auf der rechten Seite befinden sich einige unserer Keramik -End -Effektors. Wir können auch nach Ihren Zeichnungen oder Proben anpassen.