Nitrure d'aluminium (ALN)
Combiné avec les avantages de performance complets des matériaux traditionnels de substrat AL2O3 et BEO traditionnels, la céramique de nitrure d'aluminium (ALN), qui a une conductivité thermique élevée (la conductivité thermique théorique de la monocristal est de 275 W / m▪k , à faible conductivité thermique théorique du polycristal est une coefficient à faible teneur en cas de dielect, une monnaie à faible teneur en diel Le silicium et les bonnes propriétés d'isolation électrique sont un matériau idéal pour les substrats de circuit et l'emballage dans l'industrie de la microélectronique. Il s'agit également d'un matériau important pour les composants en céramique structurelle à haute température en raison des bonnes propriétés mécaniques à haute température, des propriétés thermiques et de la stabilité chimique.
La densité théorique de l'ALN est de 3,26 g / cm3, la dureté MOHS est de 7-8, la résistivité de la température ambiante est supérieure à 1016Ωm et l'expansivité thermique est de 3,5 × 10-6 / ℃ (température ambiante de 200 ℃). Les céramiques aln pures sont incolores et transparentes, mais ce sont différentes couleurs comme le gris, le blanc grisâtre ou le jaune clair, en raison des impuretés.
En plus de la conductivité thermique élevée, la céramique ALN présente également les avantages suivants:
1. Bonne isolation électrique;
2. Coefficient d'expansion thermique similaire avec la monocristal de silicium, supérieur à des matériaux comme Al2O3 et BeO;
3. Résistance mécanique élevée et résistance à la flexion similaire avec des céramiques Al2O3;
4. constante diélectrique modérée et perte diélectrique;
5. Comparé à BEO, la conductivité thermique de la céramique ALN est moins affectée par la température, en particulier supérieure à 200 ℃;
6. résistance à haute température et résistance à la corrosion;
7. Non-toxique;
8. être appliqué à l'industrie des semi-conducteurs, à l'industrie de la métallurgie chimique et à d'autres domaines industriels.