Aluminijski nitrid (ALN)
U kombinaciji s opsežnim prednostima performansi tradicionalnih materijala AL2O3 i BOO supstrata, aluminij nitrid (ALN) keramike, koji ima visoku toplinsku vodljivost (teorijska toplinska vodljivost monokristala je 275W/M▪K , Polikristalna teorijska toplinska vodljivost, niska DandK -a, 210W/m MandKi. Silicij i dobra električna izolacijska svojstva idealan je materijal za krugove podloge i pakiranje u industriji mikroelektronike. Također je važan materijal za visoko temperaturne strukturne keramičke komponente zbog dobrih mehaničkih svojstava visoke temperature, toplinskih svojstava i kemijske stabilnosti.
Teoretska gustoća ALN je 3,26 g/cm3, tvrdoća MOHS je 7-8, otpornost sobe-temperature je veća od 1016Ωm, a toplinska ekspanzivnost 3,5 × 10-6/℃ (sobna temperatura od 200 ℃). Čista aln keramika je bezbojna i prozirna, ali bile bi razne boje poput sive, sivkasto bijele ili svijetlo žute, zbog nečistoća.
Pored visoke toplinske vodljivosti, ALN keramika također ima sljedeće prednosti:
1. dobra električna izolacija;
2. Sličan koeficijent toplinske ekspanzije sa silikonskim monokristalnim, superiorni od materijala poput AL2O3 i Beo;
3. visoka mehanička čvrstoća i slična čvrstoća savijanja s al2O3 keramikom;
4. umjerena dielektrična konstanta i dielektrični gubitak;
5. U usporedbi s BEO -om, toplinska vodljivost ALN keramike manje utječe temperatura, posebno iznad 200 ℃;
6. visoki otpor temperature i otpor korozije;
7. Netoksičan;
8.