Alumínium -nitrid (ALN)
A hagyományos AL2O3 és a Beo szubsztrát anyagok átfogó teljesítményének előnyeivel kombinálva, az alumínium -nitrid (ALN) kerámia, amelynek nagy a hővezetőképessége (a Monocrystal elméleti hővezetőképessége 275W/m ▪K ason a polikristályos hőmérsékleten. A szilícium és a jó elektromos szigetelési tulajdonságok ideális anyag az áramköri szubsztrátokhoz és a csomagoláshoz a mikroelektronikai iparban. Ez egyben fontos anyag a magas hőmérsékletű szerkezeti kerámia alkatrészekhez, a jó magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságok, a hőkezelő tulajdonságok és a kémiai stabilitás miatt.
Az ALN elméleti sűrűsége 3,26 g/cm3, a MOHS keménysége 7-8, a szobahőmérséklet-ellenállás nagyobb, mint 1016Ωm, és a hőtermelési tágulás 3,5 × 10-6/℃ (szobahőmérséklet 200 ℃). A tiszta ALN kerámia színtelen és átlátszó, de a szennyeződések miatt különféle színek lennének, mint szürke, szürke fehér vagy halványsárga.
A nagy hővezető képesség mellett az ALN Ceramics a következő előnyökkel is rendelkezik:
1. Jó elektromos szigetelés;
2. Hasonló termikus tágulási együttható a szilícium monokristályával, jobb, mint az AL2O3 és a BEO;
3. Magas mechanikai szilárdság és hasonló hajlítási szilárdság az Al2O3 kerámiával;
4. Mérsékelt dielektromos állandó és dielektromos veszteség;
5. A BEO -val összehasonlítva az ALN kerámia hővezető képességét kevésbé befolyásolja a hőmérséklet, különösen 200 ℃ felett;
6. magas hőmérséklet -ellenállás és korrózióállóság;
7. nem mérgező;
8. alkalmazni kell a félvezető iparra, a kémiai kohászat -iparra és más ipari területekre.