高温抵抗、耐食性、耐摩耗性、断熱の特徴により、セラミックは、高温、真空、または腐食性ガスの状態を持つ多くの種類の半導体生産装置で長時間機能します。

高純度のアルミナパウダーで作られた、寒冷等等型のプレス、高温焼結および精密仕上げによって加工されたセラミックエンドエフェクターは、寸法耐性に±0.001 mm、表面仕上げRA 0.1、温度抵抗1600℃まで到達する可能性があります。

空洞を備えたセラミックエンドエフェクターは、ユニークなセラミック結合技術により、800°の高温で動作します。
右側には、セラミックエンドエフェクターの一部があり、図面やサンプルに応じてカスタマイズすることもできます。