Сыни процесс, сонымен қатар жоғары температурада, вакуумдық және коррозиялық газ ортасында қолданылуы керек жартылай өткізгіш құрылғының бөліктері таза және шаңсыз ортада қажет. Алайда, дәлдік керамикалық материал күрделі физикалық және химиялық ортада тұрақтылықты сақтай алады. Жартылай өткізгіштер керамикалық бөлігі, біз тозуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі, жылу кеңеюі 99,5%, алюминий керамикасы және суық изостатикалық пресстер, жоғары температуралы және дәл өңдеу және жылтырату және жылтырату және жылтырату, жартылай өткізгіш жабдыққа арналған бөліктердің қатаң талаптарына сәйкес келеді.