전통적인 AL2O3 및 BEO 기판 물질의 포괄적 인 성능 장점, 알루미늄 질화물 (ALN) 세라믹은 열전도율이 높고 (단일 크라이스트의 이론적 열전도율은 275W/m▪k 됨, 다 크리 스트의 이론적 열전도율은 70 ~ 210W/m in K) 결정 실리콘 및 우수한 전기 절연 특성은 미세 전자 산업의 회로 기판 및 포장에 이상적인 재료입니다. 또한 고온 기계적 특성, 열 특성 및 화학적 안정성으로 인해 고온 구조 세라믹 성분의 중요한 재료입니다.
ALN의 이론적 밀도는 3.26g/cm3이고, MOHS 경도는 7-8이고, 실온 저항은 1016Ωm보다 크고, 열 팽창성은 3.5 × 10-6/℃ (실내 온도 200 ℃)입니다. 순수한 ALN 세라믹은 무색이자 투명하지만 불순물로 인해 회색, 회색 흰색 또는 밝은 노란색과 같은 다양한 색상입니다.
ALN 도자기는 높은 열전도율 외에도 다음과 같은 장점이 있습니다.
1. 좋은 전기 절연;
2. 실리콘 단결정으로 유사한 열 팽창 계수, Al2O3 및 BEO와 같은 재료보다 우수합니다.
3. AL2O3 세라믹을 사용한 높은 기계적 강도 및 유사한 굴곡 강도;
4. 중간 유전 상수 및 유전체 손실;
5. BEO와 비교하여, ALN 세라믹의 열 전도도는 온도, 특히 200 ℃ 이상의 영향을받지 않습니다.
