Material

Aluminijev nitrid (ALN)

V kombinaciji s celovito uspešnostjo tradicionalnih materialov Al2O3 in Beo substrata, aluminijevega nitrida (ALN) keramike, ki ima visoko toplotno prevodnost (monokristalova teoretična toplotna prevodnost je 275W/m▪K , polikristal teoretična konstanta, ki je nizka dielacija, je 70 ~ 210W/mK) Ujemanje z enim kristalnim silicijem in dobrimi električnimi izolacijskimi lastnostmi je idealen material za vezje in embalažo v industriji mikroelektronike. Je tudi pomemben material za visokotemperaturne konstrukcijske keramične komponente zaradi dobrih visokotemperaturnih mehanskih lastnosti, toplotnih lastnosti in kemične stabilnosti.

Teoretična gostota ALN je 3,26 g/cm3, trdota MOHS je 7-8, upornost sobne temperature je večja od 1016ΩM, toplotna ekspanzivnost pa 3,5 × 10-6/℃ (sobna temperatura 200 ℃). Čista ALN keramika je brezbarvna in prozorna, vendar bi bila zaradi nečistoč različne barve, kot so siva, sivkasto bela ali svetlo rumena.

 

Poleg visoke toplotne prevodnosti ima ALN keramika tudi naslednje prednosti:

1. dobra električna izolacija;

2. Podoben koeficient toplotne ekspanzije s silicijevim monokristalom, boljšim od materialov, kot sta AL2O3 in BEO;

3. Visoka mehanska trdnost in podobna upogibna trdnost s keramiko Al2O3;

4. zmerna dielektrična konstanta in dielektrična izguba;

5. V primerjavi z Beo na toplotno prevodnost ALN keramike manj vpliva temperatura, zlasti nad 200 ℃;

6. Visoko temperaturna odpornost in korozijska odpornost;

7. netoksično;

8. Uporablja se za polprevodniško industrijo, kemično metalurgijsko industrijo in druga industrijska področja.

Seznam izdelkov