Den kritiska processen, såväl som delarna för halvledaranordning, som bör användas i hög temperatur, vakuum och frätande gasmiljö, kräver ren och dammlös miljö. Precision keramiskt material kan emellertid upprätthålla hög stabilitet i komplicerad fysisk och kemisk miljö. Halvledarens keramiska del Vi producerade med slitbeständighet, korrosionsbeständighet, låg termisk expansion, isolering är tillverkad av 99,5% aluminiumoxid keramik och formas av kall isostatisk pressning, sintring av hög temperatur och precisionsbearbetning och polering, kan uppfylla de stränga kraven för delar för halvledarutrustning.