Aluminium nitride (aln)
Imechanganywa na faida kamili ya utendaji wa vifaa vya jadi vya Al2O3 na vifaa vya chini vya BEO, aluminium nitride (ALN) kauri, ambayo ina hali ya juu ya mafuta (monocrystal's nadharia ya nadharia ya joto ni 275w/m •, m polcrystal's theoretical thermal conductivity IS 70 ~ 210). Mchanganyiko unaofanana na silicon moja ya kioo, na mali nzuri ya insulation ya umeme, ni nyenzo bora kwa sehemu ndogo za mzunguko na ufungaji katika tasnia ya microelectronics. Pia ni nyenzo muhimu kwa vifaa vya joto vya kauri ya hali ya juu kwa sababu ya hali nzuri ya joto ya mitambo, mali ya mafuta na utulivu wa kemikali.
Uzani wa nadharia ya ALN ni 3.26g/cm3, ugumu wa MOHS ni 7-8, resistation ya joto la chumba ni kubwa kuliko 1016Ωm, na upanuzi wa mafuta ni 3.5 × 10-6/℃ (joto la chumba cha 200 ℃). Kauri safi za ALN hazina rangi na wazi, lakini zingekuwa rangi tofauti kama kijivu, kijivu nyeupe au njano nyepesi, kwa sababu ya uchafu.
Mbali na ubora wa juu wa mafuta, kauri za ALN pia zina faida zifuatazo:
1. Insulation nzuri ya umeme;
2. Mchanganyiko sawa wa upanuzi wa mafuta na monocrystal ya silicon, bora kuliko vifaa kama Al2O3 na BEO;
3. Nguvu ya juu ya mitambo na nguvu sawa ya kubadilika na kauri za Al2O3;
4. Upotezaji wa wastani wa dielectric mara kwa mara na dielectric;
5. Ikilinganishwa na BEO, ubora wa mafuta ya kauri ya ALN haujaathiriwa na joto, haswa zaidi ya 200 ℃;
6. Upinzani wa joto la juu na upinzani wa kutu;
7. Isiyo na sumu;
8. Inatumika kwa tasnia ya semiconductor, tasnia ya madini ya kemikali na nyanja zingine za viwandani.