Alüminyum nitrür (ALN)
Geleneksel AL2O3 ve BEO substrat malzemelerinin kapsamlı performans avantajları ile birleştirildiğinde, yüksek termal iletkenliğe sahip olan alüminyum nitrür (ALN) seramik (monokristal teorik termal iletkenlik 275W/m'dir. Silikon ve iyi elektrik yalıtım özellikleri, mikroelektronik endüstrisinde devre substratları ve ambalajlar için ideal bir malzemedir. Ayrıca, yüksek sıcaklıkta yüksek sıcaklık mekanik özellikleri, termal özellikler ve kimyasal stabilite nedeniyle yüksek sıcaklıklı yapısal seramik bileşenleri için önemli bir malzemedir.
ALN'nin teorik yoğunluğu 3.26g/cm3, MOHS sertliği 7-8, oda sıcaklığı direnci 1016Ωm'den büyük ve termal genişlik 3,5 × 10-6/℃ (200 ℃ oda sıcaklığı). Saf aln seramikleri renksiz ve şeffaftır, ancak safsızlıklar nedeniyle gri, grimsi beyaz veya açık sarı gibi çeşitli renkler olacaktır.
Yüksek termal iletkenliğe ek olarak, ALN seramikleri de aşağıdaki avantajlara sahiptir:
1. iyi elektrik yalıtımı;
2. Silikon monokristal ile benzer termal genleşme katsayısı, AL2O3 ve BEO gibi malzemelerden daha üstün;
3. AL2O3 seramikleri ile yüksek mekanik mukavemet ve benzeri bükülme mukavemeti;
4. Orta dielektrik sabiti ve dielektrik kaybı;
5. BEO ile karşılaştırıldığında, ALN seramiklerinin termal iletkenliği, özellikle 200 ℃ üzerinde, sıcaklıktan daha az etkilenir;
6. Yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci;
7. Toksik olmayan;
8. Yarı iletken endüstrisine, kimyasal metalurji endüstrisine ve diğer endüstriyel alanlara uygulanmalıdır.