Nhôm nitride (ALN)
Kết hợp với các lợi thế hiệu suất toàn diện của vật liệu chất nền AL2O3 và BEO truyền thống, gốm bằng nhôm nitride (ALN), có độ dẫn nhiệt cao (độ dẫn nhiệt lý thuyết của đơn tinh Silicon, và tính chất cách điện tốt, là một vật liệu lý tưởng cho các chất nền mạch và bao bì trong ngành công nghiệp vi điện tử. Nó cũng là một vật liệu quan trọng đối với các thành phần gốm kết cấu nhiệt độ cao do tính chất cơ học nhiệt độ cao tốt, tính chất nhiệt và độ ổn định hóa học.
Mật độ lý thuyết của ALN là 3,26g/cm3, độ cứng của MOHS là 7-8, điện trở suất ở nhiệt độ phòng lớn hơn 1016Ωm và độ mở rộng nhiệt là 3,5 × 10-6/(nhiệt độ phòng 200). Gốm Aln nguyên chất không màu và trong suốt, nhưng chúng sẽ có nhiều màu sắc khác nhau như màu xám, trắng xám hoặc vàng nhạt, do các tạp chất.
Ngoài độ dẫn nhiệt cao, gốm ALN cũng có những lợi thế sau:
1. Cách điện tốt;
2. Hệ số giãn nở nhiệt tương tự với đơn cực tinh thể, vượt trội so với các vật liệu như AL2O3 và BEO;
3. Độ bền cơ học cao và cường độ uốn tương tự với gốm AL2O3;
4. Mất điện môi vừa phải và mất điện môi;
5. So với BEO, độ dẫn nhiệt của gốm ALN ít bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ, đặc biệt là trên 200;
6. Khả năng chịu nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn;
7. Không độc hại;
8. Được áp dụng cho ngành công nghiệp bán dẫn, ngành luyện kim hóa học và các lĩnh vực công nghiệp khác.